主動隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動減震系統，可在寬頻率范圍內為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業界的主動隔振性能（從0.5Hz開始）。平臺通過消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺采用了低調的模塊化設計，無需為大多數儀器（包括大多數SEM）安裝所需的升降設備，從而簡化了安裝過程。有利于為基礎研究、應用研究、生產等領域所用精密儀器創造穩定的測量環境。
工作原理：
通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監測振動，并基于該信息，執行器沿相反方向產生作用力，并繼續產生的振動隔離狀態。主動式隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。
主動隔振臺采用隔振技術，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。平臺利用控制器內的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉換為電信號發送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統利用一個反饋回路來消除隔振系統的機械共振?？蔀閷嶒炇抑袑φ饎用舾械脑O備如電鏡，光學器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩定的測試環境。
性能優勢：
1、系統主動檢測輸入振動并動態消除；
2、六個空間方向的自由隔振；
3、系統內部反饋回路抑制所有機械共振；
4、低頻隔振性能；
5、無低頻共振、無空氣要求。
